- 采用隔膜式的全金属密封MFC，经过EP处理以及氧化覆膜处理，可以对应腐蚀性流体。
- 可选通讯：RS485,DeviceNet®,EtherCAT®
- IGS W型密封圈接头
- 使用S. P. 精度高精度计测、全流量控制范围响应性1sec以内
- 可使用专用软件进行量程切换(３０～１１０％F.S.)
尺寸图
《1.125″W 型密封圈》
《1/4″VCR》
标准规格
| 传感器类型 | 热式绕组传感器 | ||
|---|---|---|---|
| 阀门 | 比例电磁阀（断电时关闭） | ||
| 流量量程(N₂換算) |
10SCCM～10SLM |
30SLM | |
| 控制范围 | 2～100%F.S. | ||
| 响应性 | 1sec以内 | ||
| 精度 | ±1%S.P.(10～100%F.S.) ±0.1%F.S.(2～10%F.S.) |
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| 重现性 | ±0.2%F.S | ||
| 动作压差 |
50～300kPa |
200～300kPa | |
| 入口最大压力 | 300kPa(G) | ||
| 耐压 | 1MPa(G) | ||
| He泄漏率 | 1×10-11Pa・m3/sec以下 | ||
| 允许环境温度 | 5～50℃ | ||
| 精度保证温度 | 15～40℃ | ||
| 允许保存温度 | 0～60℃ | ||
| 允许环境温度 | 0～80%RH(未出现冷凝) | ||
| 接触气体部位材质 | SUS316L、PTFE、Au、Co-Ni | ||
| 通讯接口(只限RS485) | D-sub9pin、RJ45×2 | ||
| 流量设定信号(只限RS485) | 0～5VDC（输入阻抗约1MΩ） or 4～20mA（输入阻抗约約250Ω） |
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| 流量出力信号(只限RS485) | 0～5VDC(负载电阻10kΩ以上) or 4～20mA(负载电阻500Ω以下) |
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| 数字通信 | RS485/DeviceNet®/EtherCAT® | ||
| 电源 | 11～25VDC(5VA max) | ||
| 接头・平面尺寸 | 1.125”W型92mm 1/4”VCR相当 |
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| 重量 | 约1,000g | ||
※保证精度以N₂为准。
※规格、外观等有可能发生变化。
订购方法
