24V电源经济性
- 支持15～24VDC宽频电源
- 模拟输出/输入0-5VDC/4-20mA可选
标准规格
| 传感器 | 热式绕组传感器 | |
|---|---|---|
| 阀门 | 电磁比例阀（断电时 关闭） | |
| 对象气体 | N2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2等 | |
| 流量范围（N2换算） | 10SCCM～20SLM | |
| 控制范围 | 2～100%F.S. | |
| 响应性 | 2sec以内（within±2%F.S.） | |
| 精度 | ±1%F.S.（25℃） | |
| 温度系数 | ±0.1%F.S./℃（15～35℃） | |
| 重现性 | ±0.5%F.S. | |
| 动作压差 | F.S.≦5SLM 50～300kPa、F.S.＞5SLM 100～300kPa | |
| 入口最大圧・耐圧 | 500kPa(G) | |
| 耐圧 | 1MPa(G) | |
| He泄漏率 | 1×10-8Pa・m3/sec以下 | |
| 允许环境温度 | 5～45℃ | |
| 允许保存温度 | -10～60℃ | |
| 允许周围湿度 | 10～90%RH（未出现冷凝） | |
| 与气体接触的材质 | SUS316L,SUS316,磁性不锈钢,FKM(可选:NBR,CR) | |
| 電気接続 | D-sub9九针 KFC standard（依据SEMI standard） | |
| 模拟流量设定信号 | 0～5VDC（输入Z,1MΩ以上）or 4～20mA（输入Z,250Ω） | |
| 模拟流量输出信号 | 0～5VDC（负载电阻250kΩ以上）or 4～20mA（负载电阻300Ω以下） | |
| 电源 | +15VDC（±5%）100mA、-15VDC（±5%）250mA
or 24VDC（±10%）450mA |
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| 外部尺寸 | 宽32mm × 高100mm(包含连接部）× 平面76mm(不包含接头) | |
| 接头（本体口径） | 标准：1/4SWL、可选：1/8SWL、1/4VCR、Rc1/4（9/16-18UNF） | |
| 重量 | 约1,000g | |
订购方法
