带显示屏的数字质量流量控制器

MODEL DF-300C SERIES

这是一款带有集成显示器的质量流量控制器,可与DF系列所需的24V电源配合使用。
采用DF-200C系列实现准确度±1%SP,1秒内(全范围)响应,同时通过简单的操作能够变更包含基准气体在内的7种气体类型及其流量范围,直接利用多种气体和多范围的优越多面性,增强了便利性。

  • 高精度(±1%SP),高速响应(全范围1秒内)
  • 支持多范围和多种气体
  • 标准配备通讯功能(RS485)
  • 支持RoHS.CE规格
  • 驱动单电源电压DC24V
  • 可选择有无指示灯
  • 可选输入/输出信号

DF-300C标准规范

传感器方式 热绕组传感器
阀门方式 比例电磁阀(未通电时关闭)
目标气体(* 1) N2(Air,H2,He,Ar,O2,CO2)(* 2)
流量范围(* 3) 10/30/50/100/300/500 SCCM,1/3/5/10 SLM(* 2)
控制范围 2~100%(F.S.)
响应能力(* 4) 总流量控制范围 1sec内(wihtin±2%F.S.)
L:50kPa~149kPa H:150kPa~300kPa
精度(* 5) ±1.0%SP(> 35%F.S.),
±0.35%F.S.(≦35%F.S.)
再现性 ±0.25%F.S.
动作压差(* 6) 50~300 kPa(Ar、CO2:100~300 kPa)
最大入口压力 500kPa(G)
耐压 980kPa(G)
He泄漏率(* 7) 1 x 10-8 Pa·m3 / sec以下
温度 允许周围温度 5~50℃
精度保证温度 15~35℃
允许储存温度 -10~60℃
允许环境湿度 10~90%RH (无结露)
气体接触材料 SUS316,SUS316L,磁性不锈钢,Ni,PTFE,PCTFE,FKM
电气连接 D-sub 15引脚 公头 高密度型,HR-10A×2
流量设定信号 0~5 VDC(输入电阻:约1MΩ)or4~20mA(输入电阻:约250Ω)
流量输出信号 0~5 VDC(负载电阻:10kΩ以上)or4~20mA(负载电阻:500Ω以下)
数字通信 根据RS485旋转开关或显示屏设置地址:最多99台(9600 bps)
活动输入 接点输入×3个(非绝缘)
活动输出 NPN开路集电极×3个(非绝缘,最大额定值35 V,50 mA
所需电源(DC) + 24VDC(±10%)300mA以下(DC插孔.D-sub)
接头(* 8) 1 / 4F 900(标准),1/4 UJR,Rc1 / 4
安装姿势 推荐水平方向
重量(* 9) 约950g

(* 1)应为干燥气体,无腐蚀性成分,灰尘,雾气等的干净气体。

(* 2)使用专用软件,可以更改气体类型或在指定的满量程范围的30%至100%(仅限CO2的30%至80%)内更改满量程范围。

(* 3)流量校准单位SCCM和SLM是质量流量在0°C和1个大气压状态下转换为体积流量cc / min和L / min的值。

(* 4)校准气体:对于N2的保证。

(* 5)校准气体:对于N2、流量范围(最大满量程)的精度。

(* 6)操作压差可能因规格而异。

(* 7)不包括渗透。
长期渗透引起的泄漏量(参考值)为1×10.6Pa•m3 / sec以下。

(* 8)如需其他接头,请另行询问。

(* 9)不含接头的重量。

尺寸图

接线连接

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