低成本金属密封质量流量计

MODEL 5410 SERIES

5410型是一种质量流量计,具有进一步改进的基本性能。
虽然外观是传统产品,但传感器驱动方法已得到改进,以减少零漂移。
它是一种通过金属密封结构具有高气密性的产品,并增加了切口接头。

  • 提高每个流量范围的精度
  • 适用于微流量(选项规格)
  • 由于无焊接结构(VCR规格),金属密封,泄漏低
  • 价格便宜

标准规格

流量范围
(N2转换20°C / 1 ATM)
1SCCM~20SLM(任意条件选择)
传感器方式 热绕组传感器
准确性 ±1%F.S.(20°C)
温度系数 0.1%F.S./°C(15~35°C)
再现性 ±0.2%F.S.(20°C)内
可工作压力 300kPa(G)以下
耐压 980kPa(G)
He泄漏率 1 x 10-11 Pa.m3/s以下
允许周围温度 0~50℃(精度保证温度15.35°C±0.1%FS /°C)
允许环境湿度 10~90%RH(无结露)
气体接触材料 车身SUS316L
隔膜Ni.Co
阀座PTFE
密封材料SUS316L,Ni
电气连接 Dsub 9针KFC 标准(符合SEMI标准)
流量设定
输入信号
0~5 VDC(最小负载电阻250kΩ以上)
所需电源 +15 VDC(±5%)100 mA,
-15 VDC(±5%)100 mA
配件(车身尺寸) 标准1/4 VCR等效
重量 约800g

警告

流量范围附带的规格(流量范围,精度等)是N2或空气转换中的规格。
有关MFC规格,请单独查询。

接线连接

Dsub 9针KFC标准引脚排列

尺寸图

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