全金属数字质量流量控制器

MODEL DF-550C SERIES

高性能数字MFC“DF-250C系列”的全金属型号“DF-550C”发布!
金属密封结构可以测量和控制半导体工艺气体和其他腐蚀性气体。

  • 通过新型螺线管改善响应速度,在所有流量区域实现1秒以内高速响应
  • 不锈钢密封使其支持高活性气体
  • 10SCCM~10SLM序列
  • 可通过2个通信端口进行菊花链连接
  • 配备RS-485通讯功能标准
  • 支持RoHS.CE规格

DF-550C标准规范

传感器方式 热绕组传感器
阀门方式 比例电磁阀(未通电时关闭)
目标气体(* 1) N2,Air,H2,He,Ar,O2,CO2等
(未记载的气体换算成N2进行校正)
流量范围(* 2) 10 SCCM~10 SLM
控制范围 2~100%(F.S.)
响应能力 总流量控制范围 1sec内(wihtin±2%F.S.)
L:50kPa~149kPa H:150kPa~300kPa
精度(* 3) ±1.0%F.S.
再现性 ±0.25%F.S.
工作压差(* 4) 50~350 kPa(F.S.10 SLM:100~350 kPa)
最大入口压力 500kPa(G)
耐压 980kPa(G)
He泄漏率 1 x 10-11 Pa.m3 / sec以下
温度 使用温度 5~50℃
精度保证温度 15~35℃
允许储存温度 -10~60℃
允许环境湿度 10~90%RH (无结露)
气体接触材料 SUS316L,磁性不锈钢,PTFE,Ni-Co
电气连接 D-sub 9针KFC Standard(依据SEMI standard),RJ-45模块化插孔x 2
流量设定信号 0~5 VDC(输入电阻约1MΩ)
流量输出信号 0~5 VDC(负载电阻10kΩ以上)
数字通信 使用RS485旋转开关设置地址:最多99台(9600 bps)
所需电源(DC) +15 VDC(±5%):150 mA,-15 VDC(±5%):150 mA
接头 相当于1/4 VCR
安装姿势 推荐水平方向
重量(* 9) 约1100g

(* 1)应为干燥气体,无腐蚀性成分、灰尘、雾气等的干净气体。

(* 2)流量校准单位SCCM和SLM是质量流量在0°C和1个大气压状态下转换为体积流量cc / min和L / min的值。

(* 3)对于流量范围(最大满量程)的精度。

(* 4)工作压差可能因规格而异。

尺寸图

接线连接

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