这是一款高级阀门流量计，结合了高精度流量计和可精确控制流量的针阀。
该制品非常适用于计量控制微小流量。
- 可实现超小流量控制
- 使用精密针阀
- 下方阀门和上方阀门两种类型
- 种类丰富
用途
- 用于整合设备
- 用于半导体相关的燃气设备
- 用于生物工业
- 用于真空管路控制
使用示例
尺寸图
标准规格
| 气体 | 流体 | ||
|---|---|---|---|
| 流体名称 | Air，N2，O2，H2，He，Ar，CO2（50 L/MIN以下为实际气体校准） 其他气体在转换后进行校准，实际气体校准请另行咨询 ※选项：2种流体刻度 |
标准流体（H2O） 其他气体在转换后进行校准 （但是，会产生与实际液体的误差。） |
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| 流量范围 | 0.5~5 ML / MIN至10~100 L / MIN（参考容量列表） ※选项：0.5~3ML / MIN |
0.5~5ML / MIN至0.2~2 L / MIN（参考容量列表） ※选项：0.5~3ML / MIN |
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| 精度 | FS±2％（计量点）※选项：FS±1％（计量点） | FS±2％（计量点） | |
| 耐压 | 100ML / MIN以下：1.0MPa 5L / MIN以下：0.7MPa 10L / MIN以上：0.5MPa |
5ML / MIN以下：1.0MPa 150ML / MIN以下：0.7MPa 200ML / MIN以上：0.5MPa |
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| 有效刻度 | 10：1 ※选项20：1 | ||
| 材质 | SS制 | RS制 | |
|---|---|---|---|
| 主体区块 | SUS316 | 黄铜 | |
| 锥形管 | 硬玻璃 | ||
| 密封材料 | 氟橡胶 | NBR | |
| 浮标 | 硬质玻璃，SUS316 | ||
| 保护罩 | 丙烯 | ||
| 最高使用温度 | 60℃ | ||
| 连接端口 | Rc1 / 4（标准） | ||
容量列表
可选规格
- F.S. ±1％（计量点）
- 0.5~3ML / MIN空气（大气压）规格
注）仅限全长为120mm的情况。 - 全氟醚橡胶O型圈规格
注）没有用于关闭针部的O型圈。
注）气体1L / MIN以下无过滤器。 - 双刻度规格
- 20：1刻度规格
