高级金属密封质量流量控制器

MODEL 5100 SERIES

5100系列是一款质量流量控制器,它实现了无焊接结构(VCR规格),金属密封的基本性能,以及半导体工艺气体控制所需的±1%精度。
板载传感器的响应能力。它具有出色的分辨率,可以处理1 sccm(N2)的微流量。

  • 通过使用温度跟踪型电流差检测流量传感器实现高精度,高速传感器响应
  • 采用电磁铁电磁阀常闭阀
  • 由于无焊接结构(VCR规格),金属密封,泄漏低
  • 采用隔膜阀,减少死体积
  • 面对面,体型和接线连接与其他公司的更换兼容

标准规格

流量范围
(N2转换20°C / 1 ATM)
1SCCM~20SLM(任意条件选择)
传感器方式 热绕组传感器
阀门方式 比例螺线管阀门(未通电时关闭)
控制范围 2~100%(F.S.)
响应速度 1秒内(±2%F.S.内)
准确性 ±1%F.S.
温度系数 0.1%F.S./°C(15~35°C)
再现性 ±0.2%F.S.
操作压差范围 F.S.≤5SLM50. 300kPa
F. S.> 5 SLM 100. 300 kPa
选项:低压差规格(LP)可根据条件制造
可工作压力 300kPa(G)以下
耐压 980kPa(G)
He泄漏率 1 x 10-11 Pa.m3/s以下
允许周围温度 0~50℃
允许环境湿度 10~90%RH(无结露)
气体接触材料 车身SUS316L
隔膜SUS316L
阀座PTFE
密封材料SUS316L,Ni,Au
选项:SUS密封(SU),内部磨削规格(KP)
电气连接 Dsub 9针KFC 标准(符合SEMI标准)
流量设定
输入信号
0~5 VDC(输入阻抗1MΩ以上)
流量输出信号 0~5 VDC(外部负载电阻250kΩ以上)
所需电源 +15 VDC(±5%)100 mA,
-15 VDC(±5%)200 mA
配件(车身尺寸) 标准1/4 VCR等效选项1/4 SWL
重量 约1000g

警告

流量范围附带的规格(流量范围,精度,响应性等)是N2或空气转换中的规格。
另外,生产规格条件是初级侧小于300kPa,次级侧向大气开放。
有关压力条件,请另行咨询。

接线连接

Dsub 9针KFC标准引脚排列

尺寸图

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