DF-350系列是一款数字质量流量控制器，以DF-250系列50 SLM以下规格为基准，与DC24V电源兼容。
- 50SML以下的规格高速响应（全范围1秒内）
- 10SCCM~50SLM序列
- 标准配备通讯功能（RS485）
- 支持RoHS.CE规格
- 可选择有无显示屏
- 可选输入/输出信号
DF-350C标准规范
| 传感器方式 | 热绕组传感器 | ||
|---|---|---|---|
| 阀门方式 | 比例电磁阀（未通电时关闭） | ||
| 目标气体（* 1） | N2，空气，H2，He，Ar，O2，CO2等 （未记载的气体换算成N2进行校正） |
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| 流量范围（* 2） | 10 SCCM~10 SLM | 20~50SLM （CO2：20~30 SLM） |
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| 控制范围 | 2~100％（F.S.） | ||
| 响应速度 | 总流量控制范围 1sec内(wihtin±2％F.S.) | ||
| L：50kPa~149kPa H：150kPa~300kPa | |||
| 精度（* 3） | ±1.0%F.S. | ||
| 再现性 | ±0.25%F.S. | ||
| 动作压差（* 4） | 50~300 kPa（Ar，CO2：100~300 kPa） | 100~300 kPa（Ar，CO2：150~300 kPa） | |
| 最大入口压力 | 500kPa(G) | ||
| 耐压 | 980kPa(G) | ||
| He泄漏率（* 5） | 1 x 10-8 Pa·m3 / sec以下 | ||
| 温度 | 使用温度 | 5～50℃ | |
| 精度保证温度 | 15～35℃ | ||
| 允许储存温度 | -10～60℃ | ||
| 允许工作湿度 | 10～90%RH （无结露） | ||
| 气体接触材料 | SUS316、SUS316L、磁性不锈钢、Ni、PTFE、PCTFE、FKM | ||
| 电气连接 | D-sub 15引脚 公头 高密度型，HR-10A×2 | ||
| 流量设定信号 | 0~5 VDC（输入电阻：约1MΩ）or4～20mA（输入电阻:约250Ω） | ||
| 流量输出信号 | 0~5 VDC（负载电阻：10kΩ以上)or4～20mA（负载电阻:500Ω以下) | ||
| 数字通信 | 使用RS485旋转开关或显示屏设置地址：最多99台（9600 bps） | ||
| 活动输入 | 接点输入×3个（非绝缘） | ||
| 活动输出 | NPN开路集电极×3个（非绝缘，最大额定值35 V，50 mA） | ||
| 所需电源（DC） | + 24VDC（±10％）300mA以下（DC插孔.D-sub） | ||
| 接头（* 6） | 1 / 4F 900（标准），1/4 UJR，Rc1 / 4 | ||
| 安装姿势 | 推荐水平方向 | ||
| 重量（* 9） | 约950g | 约1100g | |
（* 1）应为干燥气体，无腐蚀性成分、灰尘、雾气等的干净气体。
（* 2）流量校准单位SCCM和SLM是质量流量在0°C和1个大气压状态下转换为体积流量cc / min和L / min的值。
（* 3）对于流量范围（最大满量程）的精度。
（* 4）操作压差可能因规格而异。
（* 5）不包括渗透。
长期渗透引起的泄漏量（参考值）为1×10.6Pa•m3 / sec以下。
（* 6）如需其他接头，请另行询问。
（* 7）不含接头的重量。
尺寸图
接线连接
