DF-250系列是一款高性能数字质量流量控制器，可在1秒内（所有区域）实现低于50 SLM的响应。
该系列提供高达500 SLM的高流量系列。
- 标准气体用真实气体校准
- ~50 SLM在整个区域内1秒内快速响应
- 从10SCCM到500SLM的阵容
- 标准配备通讯功能（RS485）
- RoHS。符合CE标准
DF-250C标准规范
| 传感器方式 | 热绕组传感器 | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 阀门方式 | 比例电磁阀（未通电时关闭） | |||||
| 目标气体（* 1） | N2，空气，H2，He，Ar，O2，CO2等 （未描述的气体是N2当量校准） |
空气，N2 | ||||
| 流量范围（* 2） | 10 SCCM到10 SLM | 20至50 SLM （二氧化碳：20至30 SLM） |
100,150 SLM | 200,300 SLM | 400,500 SLM（* 3） | |
| 控制范围 | 2~100％（F.S.） | 5~100％（F.S.） | ||||
| 响应速度 | 总流量控制范围在1秒内 （wihtin±2％F。S.） |
1.5秒或更短 10％或更少是3秒或更短 （在±2％F。内） |
2秒或更短（±2％FS内） | |||
| L：50.149kPa H：150.300kPa | L：150.249kPa H：250.350kPa | L：200。299kPa（* 9）H：300。350kPa | ||||
| 精度（* 4） | ±1.0%F.S. | ±2.0%F.S. | ||||
| 再现性 | ±0.25%F.S. | ±0.5%F.S. | ||||
| 工作压差（* 5） | 50至300千帕 （Ar，CO2：100至300 kPa） |
100至300千帕 （Ar，CO 2：150至300 kPa） |
150至350千帕 | 200 SLM：200至350 kPa 300 SLM：250至350 kPa |
400 SLM：200至350 kPa 500 SLM：250至350 kPa |
|
| 最大入口压力 | 500kPa(G) | |||||
| 耐压 | 980kPa(G) | |||||
| He泄漏率（* 6） | 1 x 10-8 Pa.m3 / sec以下 | 1 x 10-7 Pa.m3 / sec以下 | ||||
| 温度 | 工作温度 | 5～50℃ | ||||
| 精度保证温度 | 15～35℃ | |||||
| 允许储存温度 | -10～60℃ | |||||
| 允许工作湿度 | 10～90%RH （无结露） | |||||
| 气体接触材料 | SUS316，SUS316L，磁性不锈钢，Ni，PTFE，PCTFE，FKM | |||||
| 电气连接 | D-sub 9针KFC标准（符合SEMI标准）， RJ-45模块化插孔x 2 |
D-sub 9针KFC标准（符合SEMI标准）， HR-10A×2 |
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| 流量设定信号 | 0~5 VDC（输入电阻约1MΩ） | |||||
| 流量输出信号 | 0~5 VDC（负载电阻10kΩ以上） | |||||
| 数字通信 | 使用RS485旋转开关设置地址：最多99（9600 bps） | |||||
| 所需电源（DC） | +15 VDC（±5％）：150 mA， -15 VDC（±5％）：150 mA |
+15 VDC（±5％）：150 mA， -15VDC（±5％）：250mA |
24 VDC（±10％）：450 mA（DC插孔.D-sub） | |||
| 接头（* 7） | 1 / 4F 900（标准），1/4 UJR，Rc1 / 4 | 1/2 SW（标准），3/4 SW | ||||
| 安装姿势 | 推荐水平方向 | |||||
| 重量（* 8） | 约850g | 约1000g | 约2250g | 约3500g | ||
（* 1）应为干燥气体，清洁气体，无腐蚀性成分，灰尘，雾气等。
（* 2）流量校准单元SCCM和SLM是在0°C和1 atm下转换为质量流量cc / min和L / min的值。
（* 3）工作压力范围内的输出流量为1％或更低。
（* 4）流量范围的精度（最大满量程）。
（* 5）工作压差可能因规格而异。
（* 6）不含渗透。
长期渗透引起的泄漏量（参考值）为1×10.6Pa·m3 / sec以下。
（* 7）如需其他接头，请另行询问。
（* 8）没有配件的重量。
（* 9）300 SLM，500 SLM将为L：250。299 kPa。
尺寸图
（* 8）对于50 SLM或更低，请参考DF-200C尺寸。
接线连接
