小型数字质量流量控制器/仪表

MODEL EX-250S SERIES

它是一种数字质量流量设备,通过标准通信功能(RS 485)实现高精度和高速响应,同时结构紧凑,采用高速绕线传感器和内部开发的具有出色稳定性的小型比例电磁阀。

  • 小型质量流量装置(W76 x D30 x H76)
  • 高速应答及出色的零点稳定性
    □0-5V或4-20mA输入/输出信号,电源
    可从±15 V或24 V单电源选择
  • 电源连接器采用通用性较高的D-sub9针连接器
  • 通过切换旋转开关,可以使用主机中登记的气体类型。
    ※流量是与N2气体的比率计算出的值
  • 标准配备通讯功能(RS485)
  • 符合RoHS•CE标准

EX-250S标准规格

形式 质量流量控制器
EX-250SC
质量流量计

EX-250SM
传感器方式 热绕组传感器
阀门方式 比例螺线管阀门(未通电时关闭)
目标气体(* 1) N2,Air,H2,He,Ar,O2,CO2等

(未列出的气体换算成N2)
流量范围(* 2) 10 SCCM~5 SLM
控制范围(测量范围) 2~100%(F.S.)
响应速度 总流量控制范围在1sec内(within±2%F.S.)
L:50kPa~149kPa H:150kPa~300kPa
精度(* 3) ±1.0%F.S.
再现性 ±0.2%F.S.
工作压差(* 4) 50~300 kPa(Ar,CO2:100 kPa~300 kPa)
最大入口压力 500kPa(G)
耐压 980kPa(G)
He泄漏率(* 5) 1 x 10-8 Pa.m3 / sec以下
温度 允许周围温度 5~50℃
精度保证温度 15~35℃
允许储存温度 -10~60℃
允许环境湿度 10~90%RH (无结露)
气体接触材料 SUS316,SUS316L,磁性不锈钢(* 6),PTFE,FKM
电气连接 Dsub 9针KFC标准(符合SEMI标准)
HR-10A
流量设定输入信号 0~5 VDC(输入电阻约1MΩ)
Or 4~20mA(输入电阻约250Ω)
流量输出信号 0~5 VDC(负载电阻10kΩ以上)
or 4~20mA(负载电阻500Ω以下)
数字通信 通过RS485旋转开关设置地址
所需电源(DC) +15 VDC(±5%)100 mA以下,-15 VDC(±5%)150 mA以下
or+ 24VDC(±10%)180mA以下(MFM都为100mA以下)
接头(* 7) 1/4F900(标准)
安装姿势 推荐水平方向
重量(* 8) 约500g 约440g

(* 1)干燥气体,不含腐蚀性成分和灰尘,雾气等的干净气体。

(* 2)流量单位SCCM、SLM是将质量流量换算成0℃、1atm状态下的体积流量cc/min、L/min值。

(* 3)流量范围(最大满量程)的精度。

(* 4)工作压差可能因规格而异。

(* 5)不含渗透。长期渗透引起的泄漏量(参考值)为1×10.6Pa•m3 / sec以下。

(* 6)质量流量计不使用磁性不锈钢。

(* 7)如需其他接头,请另行询问。

(* 8)重量不含接头。

尺寸图

接线连接

SW1气体类型分配表

Leave a comment

メールアドレスが公開されることはありません。

关于本产品的咨询
Top