它是一款全金属MFC，配备高速绕线传感器，具有出色的内部开发稳定性。
SEMI兼容106mm（可选择124mm）表面，RS485通信是标准配置。
高精度腐蚀性气体兼容产品，1.0％SP。
- 金属密封结构
- 高速应答及出色的零点稳定性
- 0-5V或4-20mA输入/输出信号，电源
可从±15 V或24 V单电源选择
□电源连接器采用通用性较高的D-sub9针连接器 - 通过切换旋转开关，可以使用主机中登记的气体类型。
※流量是与N2气体的比率计算出的值 - 标准配备通讯功能（RS485）
- 符合RoHS•CE标准
EX-550标准规格
| 形式 | 质量流量控制器 EX-550C |
质量流量计 EX-550M |
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|---|---|---|---|
| 传感器方式 | 热绕组传感器 | ||
| 阀门方式 | 比例螺线管阀门（未通电时关闭） | – | |
| 目标气体（* 1） | N2，Air，H2，He，Ar，O2，CO2等 （未列出的气体换算成N2） |
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| 流量范围（* 2） | 10 SCCM~5 SLM | ||
| 控制范围（测量范围） | 2~100％（F.S.） | ||
| 响应速度 | 总流量控制范围在1sec内（within±2%F.S.） | ||
| L：50kPa~149kPa H：150kPa~300kPa | – | ||
| 精度 | ±1.0％SP（25％FS至100％FS），±0.25％FS（25％FS） | ||
| 再现性 | ±0.2%F.S. | ||
| 工作压差（* 3） | 50~300 kPa（Ar，CO2：100 kPa~300 kPa） | – | |
| 最大入口压力 | 350kPa（G） | ||
| 耐压 | 980kPa（G） | ||
| He泄漏率 | 1 x 10-11 Pa.m3 / sec以下 | ||
| 温度 | 允许周围温度 | 5～50℃ | |
| 精度保证温度 | 15～35℃ | ||
| 允许储存温度 | -10～60℃ | ||
| 允许环境湿度 | 10～90%RH （无结露） | ||
| 气体接触材料 | SUS316L，磁性不锈钢，PTFE，Ni-Co | ||
| 电气连接 | Dsub 9针KFC标准（符合SEMI标准） HR-10A×2 |
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| 流量设定输入信号 | 0~5 VDC（输入电阻约1MΩ） Or 4~20mA（输入电阻约250Ω） |
– | |
| 流量输出信号 | 0~5 VDC（负载电阻10kΩ以上） or 4~20mA（负载电阻500Ω以下） |
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| 数字通信 | 通过RS485旋转开关设置地址 | ||
| 所需电源（DC） | +15 VDC（±5％）100 mA以下，-15 VDC（±5％）150 mA以下 or+ 24VDC（±10％）180mA以下（MFM都为100mA以下） |
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| 接头 | 相当于1/4 VCR | ||
| 安装姿势 | 未指定 | ||
| 重量 | 约800g | 约550g | |
（* 1）干燥气体，不含腐蚀性成分和灰尘，雾气等的干净气体。
（* 2）流量单位SCCM、SLM是将质量流量换算成0℃、1atm状态下的体积流量cc/min、L/min值。
（* 3）工作压差可能因规格而异。
尺寸图
接线连接
SW1气体类型分配表
