全金属数字质量流量控制器/仪表

MODEL EX-550 SERIES

它是一款全金属MFC,配备高速绕线传感器,具有出色的内部开发稳定性。
SEMI兼容106mm(可选择124mm)表面,RS485通信是标准配置。
高精度腐蚀性气体兼容产品,1.0%SP。

  • 金属密封结构
  • 高速应答及出色的零点稳定性
  • 0-5V或4-20mA输入/输出信号,电源
    可从±15 V或24 V单电源选择
    □电源连接器采用通用性较高的D-sub9针连接器
  • 通过切换旋转开关,可以使用主机中登记的气体类型。
    ※流量是与N2气体的比率计算出的值
  • 标准配备通讯功能(RS485)
  • 符合RoHS•CE标准

EX-550标准规格

形式 质量流量控制器
EX-550C
质量流量计
EX-550M
传感器方式 热绕组传感器
阀门方式 比例螺线管阀门(未通电时关闭)
目标气体(* 1) N2,Air,H2,He,Ar,O2,CO2等
(未列出的气体换算成N2)
流量范围(* 2) 10 SCCM~5 SLM
控制范围(测量范围) 2~100%(F.S.)
响应速度 总流量控制范围在1sec内(within±2%F.S.)
L:50kPa~149kPa H:150kPa~300kPa
精度 ±1.0%SP(25%FS至100%FS),±0.25%FS(25%FS)
再现性 ±0.2%F.S.
工作压差(* 3) 50~300 kPa(Ar,CO2:100 kPa~300 kPa)
最大入口压力 350kPa(G)
耐压 980kPa(G)
He泄漏率 1 x 10-11 Pa.m3 / sec以下
温度 允许周围温度 5~50℃
精度保证温度 15~35℃
允许储存温度 -10~60℃
允许环境湿度 10~90%RH (无结露)
气体接触材料 SUS316L,磁性不锈钢,PTFE,Ni-Co
电气连接 Dsub 9针KFC标准(符合SEMI标准)
HR-10A×2
流量设定输入信号 0~5 VDC(输入电阻约1MΩ)
Or 4~20mA(输入电阻约250Ω)
流量输出信号 0~5 VDC(负载电阻10kΩ以上)
or 4~20mA(负载电阻500Ω以下)
数字通信 通过RS485旋转开关设置地址
所需电源(DC) +15 VDC(±5%)100 mA以下,-15 VDC(±5%)150 mA以下
or+ 24VDC(±10%)180mA以下(MFM都为100mA以下)
接头 相当于1/4 VCR
安装姿势 未指定
重量 约800g 约550g

(* 1)干燥气体,不含腐蚀性成分和灰尘,雾气等的干净气体。

(* 2)流量单位SCCM、SLM是将质量流量换算成0℃、1atm状态下的体积流量cc/min、L/min值。

(* 3)工作压差可能因规格而异。

尺寸图

接线连接

SW1气体类型分配表

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