质量流量控制器,适用于高流量

HFC-303 SERIES

HFC-303是一种质量流量控制器,通过结合电磁式先导阀和为大流量控制开发的气动流量控制阀,可实现大流量的高精度气体控制,这在过去很难实现。
作为HFC-203系列的后续产品,HFC-203系列已广泛应用于工业领域,是一种新型号,可实现更高的精度和高速响应。

  • 采用两级控制阀,支持高达1000 SLM的高流量
  • 即使流量大,也能实现±1.0%的高精度
  • 确保传统型号的高速响应性能
  • 如果流量超过1000 SLM,请与我们联系

标准规格

流量范围
(N2转换20°C / 1 ATM)
100〜300 SLM(可选) 301〜1000 SLM(可选
传感器方式 热绕组传感器
阀门方式 比例螺线管阀门(未通电时关闭)
控制范围 2~100%(F.S.) 5~100%(F.S.)
准确性 ±1%F.S.(25°C)
温度系数 0.1%F.S./°C(15~35°C) 0.2%F.S./°C(15~35°C)
再现性 ±0.25%F.S.
压差 个人反应
耐压 3.4MPa(G)(HP选项6.8MPa(G))
He泄漏率(* 1) 1 x 10-7 Pa.m3/s以下
允许周围温度 5~45℃
允许环境湿度 10~90%RH(无结露)
气体接触材料 主体SUS316,Ni,SUS302
隔膜FKM
阀座FKM
密封材料FKM(选件CR,Kallets)
电气连接 Dsub 15针
流量设定
输入信号
0~5 VDC(输入阻抗1MΩ以上)
流量输出信号 0~5 VDC(外部负载电阻250kΩ以上)
所需电源 +15 VDC(±5%)150 mA,
-15 VDC(±5%)300 mA
配件(车身尺寸) 标准1/2 SWL(3 / 4.16 UNF) 标准3/4 SWL(1.1 / 16.12 UNF)

(* 1)不含渗透。
长期渗透引起的泄漏量(参考值)为1×10.6Pa•m3 / sec以下。

警告

流量范围附带的规格(流量范围,精度,响应性等)是N2或空气转换中的规格。
另外,生产规格条件是初级侧小于300kPa,次级侧向大气开放。
有关压力条件,请另行咨询。

接线连接(D-sub 15PIN)

PIN 信号名称 PIN 信号名称
1 NC 9 电源-15VDC
2 NC 10 NC
3 NC 11 电源+ 15VDC
4 NC 12 电源COM
5 电源COM 13 NC
6 输出信号0-5V 14 设定信号
7 NC 15 NC
8 强制阀门打开/关闭    

警告

3150/3250/3350/3450系列D-sub 15针和HFC / HFM系列
Z的D-sub 15引脚的布线布置不同。
连接不当可能会导致故障。

尺寸图

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