液体专用流量控制器

FCL-200

FCL-200是一款专为控制液体流量而研发的液体流量控制器,接液部分均采用聚四氟乙烯材质,最适合用于纯水条件下半导体工艺流程中流体的控制以及医药、食品相关方面的液体控制等。

  • 接液部分均采用聚四氟乙烯材质,可将纯净的流体控制在一定流量范围内
  • 采用专用新型阀门结构,几乎不会产生粒子
  • 高温型最高可在80℃下进行控制
  • 可通过RS232C进行通信操作

标准规格

使用流体 水、純水、超純水(其他液体请咨询)
流量范围 0.4~2.0L/min(工作压差150kPa以上)
允许工作流体温度 10~35℃(常温)(可选:10~80℃)
测定精度 ±1%F.S.(at25℃纯水校准)
重现性 ±0.7%F.S.(at25℃纯水校准)
响应速度 阀门关闭→100%F.S.:2秒以内、100%F.S.→阀门关闭:2秒以内(at25℃纯水,压差=150kPa条件下)
接液部分材质 PTTA,PFA
供应压力 0.15~0.35MPa(泵脉动±50kPa以下)
耐压 0.6MPa(at25℃)
工艺连接件 3/8英寸(φ9.52×6.35)
日本支柱工业SUPER 300 Ptype接头
专用电源电缆长度 3m
电缆外皮 PVC
结构 与IP64同等(电装部分)
阀门结构 常开型
允许周围温度 0〜50℃
环境湿度 10~85%RH(无结露)
安装方向 自由(建议水平设置)
重量 约1.3kg

注意

本产品无法断开。
如需断开请在前端安装断开专用阀门。
请在本机前端安装过滤器等,避免混入异物。

使用流体中混入的气泡量超过5%时,输出流量精度可能会出现异常,请注意。

本规格可能会在未经通知的情况下发生变更。

电气规格

测定方式 卡门旋涡式
输入信号 4-20mA(0-2L/min)
输出信号 4-20mA(0-2L/min)
电源 DC24V±5%
电源电压波动 ±10%以内
消耗电流 约200mA
通信功能(可选) RS232C(电缆3m)

外形图

使用示例

专用电源电缆3m(线路布置)

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